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激光干涉仪测量平板平面度原理方法（实用应用文）
tooganny 分享于2022-03-15 00:59 Doc-976PKM；本文是“通信或电子”中“电子电气自动化”的实用应用文的论文参考范文或相关资料文档。正文共748字，word格式文档。内容摘要：激光干涉仪测量平板平面度原理方法的内容摘要：激光干涉仪测量平板平面度原理方法前言在几何量测量中，平面度误差是形位误差项目之一，其测量与评定对有平面度公差要求的工件的合格性判定和加工精度均有着重要意义。今天给大家介绍用激光干涉仪测量平板的平面度 文档格式： .doc 文档页数： 3页 文档大小： 14.5K 文档热度： 文档分类： 通信/电子 -- 电子电气自动化 文档标签： 激光干涉仪 光干涉 平面度 原理理方 实用应用文 系统标签： 激光干涉仪 平面 平板 应用文 测量 原理 |
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