二次离子质谱仪(SIMS)的原理及应用

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作者：

田春生

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摘要：

二次离子质谱仪(SIMS)是表面分析中应用最广泛的技术之一.它的特点是高灵敏度(最低可探测浓度为ppm~ppb数量级)和高分辨率(大约10!).由于半导体材料的特殊性,即其电学特性是由微量元素所决定的,在掺杂,沾污等测量分析中SIMS已成为不可替代的手段.本文将对SIMS的原理及应用进行较为详细的介绍.

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关键词：

原理 二次离子质谱仪 可测量 失效分析 测量结果 半导体材料 数转换 测量分析 表面分析 微量元素

DOI：

10.3969/j.issn.1681-5289.2005.08.022

被引量：

20

年份：

2005