精细化工产品分析与检测

分析痛点：SEMI标准中，最高级别氢氟酸要求氯化物、硝酸盐、硫酸盐和磷酸盐浓度不高于0.1mg/kg，企业自定标准中有些已经要求达到0.01mg/kg，基质和目标物浓度差超过10⁷:1，对分析检测提出极大挑战。

方案优势：通过二维离子色谱去除电子级氢氟酸中高氟基体，其他强酸和中强酸酸根则进入二维离子分析柱中进行分离和测定。而氢氟酸中的氟硅酸，选用柱后衍生-紫外检测-离子色谱方案，通过硅酸盐间接测定氟硅酸含量，消除高浓度氟离子基体的干扰，并确保其准确定量低至µg/kg级水平。整个过程只用超纯水作为流动相，操作简单方便。