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干法式等离子去胶原理
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干法式等离子去胶原理
干法式等离子去胶原理
2024-07-04 20:09
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来源: 网络整理
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265
干法式等离子去胶原理
干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶。
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