什么是泄漏以及如何测量真空系统的漏率

根据验收规格，装置无法耐受的漏率称为拒收漏率。该值的计算基于以下条件：被测件在计划的使用期限内不会因泄漏引起的故障而失效，并能保证一定程度的确定性。通常该值并不是在被测件的正常工作条件下测定的，而是在试验条件下使用示踪气体（主要是氦气）测得的流量。因此，必须根据实际应用情况中被测件内部和外部的压力以及所处理的气体（或液体）类型，对该值进行换算。 

如果被测件内部为真空 (p < 1 mbar)，外部为大气压力，并使用氦气作为测试气体，则称之为标准氦气条件。当高真空系统连接至检漏仪并被喷了氦气（喷枪法），对该系统进行氦检漏时，系统就处于标准氦气条件之下。如果被测件完全由检漏仪抽真空，则会说检漏仪正在顺流模式下工作。如果被测件本身是一个自带真空泵的完整真空系统，并且检漏仪与系统的泵并行运行，则称之为分流模式。当使用与检漏仪并行运行的单独辅助泵时，也可以称之为全流模式。 

当使用正压法时，有时直接测量漏率会不可行或不可能，这种情况下可以将被测件放入一个封壳中来测量漏气率。可通过将封壳连接到检漏仪或者通过让测试气体在封壳内积聚（提高浓度）来进行测量。“背压测试”是一种特殊的累积测试（请参阅关于“整体和工业检漏”的页面）。在正压技术的另一种变型 - 所谓的吸枪法中，由一种特殊装置收集（抽气）漏点逸出的（测试）气体，并将其送入检漏仪。可使用氦气、制冷剂或 SF6 作为测试气体执行此程序。