具有氦气提纯功能的氦检系统

申请/专利权人：尊道(上海)自动化设备有限公司

申请日：2023-08-29

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN220912577U

主分类号：G01M3/20

分类号：G01M3/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.07#授权

摘要：本实用新型公开了一种具有氦气提纯功能的氦检系统，用于检测工件的气密性，包含：混氦模块，混氦模块混合氦气与其他气体，并将混合气体充入工件；真空模块，真空模块内放置工件；检测模块，检测模块与真空模块相连，检测模块检测真空模块内是否有氦气；回收模块，回收模块与工件相连，回收模块回收工件内的氦气；提纯模块，提纯模块与回收模块相连，提纯模块对回收模块回收的氦气进行提纯。本实用新型能够检测工件气密性，保证工件的质量，并将用于检测的氦气回收、提纯再利用，节约氦气，降低生产成本。

主权项：1.一种具有氦气提纯功能的氦检系统，用于检测工件的气密性，其特征在于，包含：混氦模块，所述混氦模块混合氦气与其他气体，并将混合气体充入所述工件；真空模块，所述真空模块内放置充有所述混合气体的所述工件；检测模块，所述检测模块与所述真空模块相连，所述检测模块检测所述真空模块内是否有所述氦气；回收模块，所述回收模块与所述工件相连，所述回收模块回收所述工件内的所述混合气体；提纯模块，所述提纯模块与所述回收模块相连，所述提纯模块对所述回收模块回收的所述混合气体中的所述氦气进行提纯。

全文数据：

权利要求：

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