科学网

本报讯（见习记者王敏）近日，国仪量子（合肥）技术有限公司召开电子显微镜新品发布会，推出了世界上首台分辨率达到2.5纳米的商用可量产钨灯丝扫描电子显微镜SEM3300，突破了长期以来的技术瓶颈。

电子显微镜利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的物理、化学性质，如形貌、成分、结构等信息，是材料研究、质量控制与失效分析等应用领域的强大工具。

钨灯丝扫描电镜具有性价比高、易维护、操作相对简单以及对场地要求较小等特点，便于大众使用。但长期以来，钨灯丝扫描电镜分辨率提升停滞不前，难以达到用户对更高分辨率的需求。

国仪量子电子显微镜技术团队针对这一技术瓶颈开展了科研攻关，通过分析限制钨灯丝扫描电镜分辨率的主要因素，提出了在镜筒内增加一根从阳极直达物镜极靴的10千伏高压管（高压隧道技术）的解决方案，使该钨灯丝电镜在所有电压段的分辨率均大幅度超越普通钨灯丝电镜。

据悉，钨灯丝扫描电镜SEM3300在20千伏分辨率达到2.5纳米，比普通钨灯丝电镜提高了16%，成为目前世界上分辨率最高的钨灯丝扫描电镜。SEM3300在任意电压下都表现出优秀的分辨力——在3千伏分辨率达到4纳米，相比普通钨灯丝电镜提高了2倍；在1千伏分辨率达到5纳米，相比普通钨灯丝电镜提高了3倍，满足了更多材料的分析测试需求。