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迈克尔逊干涉仪的原理为; G2 是一面镀上半透半反膜, M1 、 M2 为平面反射镜, M1 是固定的, M2 和 G1 精密丝相连, 使其可以向前后移动, 最小读数为 10-4mm , 可估计到 10-5mm, M1 和 M2 后各有几个小螺丝可调节其方位。当 M2 和 M1 ’严格 平行时, M2 会移动 , 表现为等倾干涉的圆环形条纹不断从中心“吐出”或向中心 “吞进” 。两平面镜之间的“空气间隙”距离增大时,中心就会“吐出”一个个 条纹;反之则“吞进” 。 M2 和 M1 ’不严格平行时,则表现为等厚干涉条纹,在 M2 移动时, 条纹不断移过视场中某一标记位置, M2 平移距离 d 与条纹移动数 N 的关系满足。
菲索干涉仪
点衍射干涉仪的原理
点衍射干涉仪的基本原理就是用小孔产生接近理想的波前作为参考波, 与测量 波面干涉,形成条纹,如图所示,当入射波一前经过会聚透镜时,会在小孔处形 成一个弥散斑, 小孔或者不透明圆盘的吸收膜片使其中一部分光线衍射产生参考 球面波 ; 另一部分光线直接透过小孔或者膜片,其波前形状不发生变化而振幅被 膜片所衰减, 这部分保持原来入射波前波形的光束作为测量光束, 两束光在点衍 射 板 的 后 方 发 生 干 涉 形 成 干 涉 条 纹 。 |
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