硅片清洗与制绒

考虑到制绒工艺段对整个生产线的重要作用，针对影响制绒反应的因素，对设备工艺段的设计进行更加精细的调整： 1.作为化学反应，首先应考虑反应的条件，即化学液的温度及各组分的浓度等。现在的工业生产对制绒工艺温度控制提出了较高的要求，为了保证反应条件的一致性，温控精度要在±1℃内，整个工艺槽内化学反应才能更稳定和可控，实现有效控制溶液的反应速度和挥发量，便于工艺调整。考虑到这个因素，制绒槽内选用了响应速度快、精度高的PTl00铂电阻作为工艺槽内的温度传感器，测量及显示精度为0．1℃，可实时显示槽内溶液温度。同时，加热系统的设计也充分考虑了均匀性的要求，选用特别定制的进口316L不锈钢材料的加热管，采用分立式结构，单一加热管损坏不影响其他系统，同时采用螺纹式接口设计，便于维修及更换。为防止加热管周围局部温度过高造成溶液温度分布不均匀，在加热管区域上部安装了热量匀流隔板，再加上槽体配置的溶液循环系统，使得溶液经过匀流隔板后的均匀性大大加强，根据实际工艺中工艺人员的实测结果统计，槽内各处溶液温度的偏差不超过±0．3℃。

2.考虑到在实际生产中，操作人员要经常更换溶液，为了保证整条工艺线的生产效率，对于加热系统的容量也做了仔细的考量。加热功率过高，会引起槽内溶液温度波动太大；功率太小则可能造成每次换液后溶液升温时间过长影响生产效率。考虑这种情况，我们采用在线加热方式实现换液时直接注入70℃左右的DI水，槽内配置12 kW的加热管，以实现维持工艺温度的要求。相比传统的外接DI水预热槽的方式，在线加热方式具有升温快(3 min内可实现将流量为3．5 L／min的DI水由室温升至70℃，后续持续保持出水温度在70℃左右)、体积小(可安装在设备内部，减少净化厂房占地面积)、对DI水电阻率影响小(在线方式可最大限度地降低DI水因长时间储存而引起的电阻率下降等问题)等优势。有效的减少生产过程的配液时间，提高了生产效率。

3.槽体结构对溶液均匀性的影响，主要包括循环系统分布的均匀性和N：鼓泡的细密性，对工艺槽内硅片绒面质量的稳定性及均匀性有很大影响。循环系统包括循环入口、循环泵、管路系统、底部多通道注入管及匀流隔板等。选用进口磁力循环泵及进口PP管件，保证循环系统的效果及洁净度。底部的多通道注入管及匀流隔板设计保证了循环效果的均匀性，循环角度可根据需要进行调整。经实际工艺验证，循环功能启动后溶液以平稳的波纹状实现循环。循环的角度全面，流向与硅片平行。同时N：鼓泡功能细密，能够覆盖硅片所在的所有区 域。可满足批量处理工艺中对硅片表面绒面效果一致性的要求。