EDS能谱图怎么看

2、定量分析:定量分析是通过x射线强度来获取组成样品材料的各种元素的浓度。根据实际情况，人们寻求并提出了测量未知样品和标样的强度比方法，再把强度比经过定量修正换算成浓度比。最广泛使用的一种定量修正技术是ZAF修正。

3、元素的面分布分析:在多数情况下是将电子束只打到试样的某一点上，得到这一点的X射线谱和成分含量，称为点分析方法。在近代的新型 SEM中，大多可以获得样品某一区域的不同成分分布状态，即:用扫描观察装置，使电子束在试样上做二维扫描，测量其特征X射线的强度，使与这个强度对应的亮度变化与扫描信号同步在阴极射线管CRT上显示出来，就得到特征x射线强度的二维分布的像。这种分析方法称为元素的面分布分析方法，它是一种测量元素二维分布非常方便的方法。

EDS常见问题：

①eds图的横纵坐标表示什么意思

回：横坐标是能量energy/kev，纵坐标是计数counts/cps

②能谱（EDS）能定量分析元素的含量吗

回：只能做到半定量

③为什么eds能谱中同一个元素会有不同的峰值

回：代表激发出来的电子的能量，不同元素有自己的特征激发能量峰（一般不止一个，是一组），

④EDS能分析表面的元素组成吗

回：能谱仪可应用于微区成分分析和样品中元素的点分析、线分析、面分析。能谱仪与波谱仪类似，也有点分析、线分析、面分析三种分析方式，作用与波谱仪类似，但分析速度比波谱仪快的多，其缺点是其分辨率较波谱仪稍差，常有相邻谱峰的重叠现象，使元素分析发生困难。

⑤能谱分析中wt和at是什么

回：Wt%是质量百分数At%是原子含量百分含量

⑥能谱（EDS）中线扫和面扫的区别，意义，作用

回：面扫描就是整个面的元素分布，可以用来大约估计合金组成或某些元素的富集区；线扫描，用来形象表示某一类或几类元素的变化趋势，一般在相界面或过渡区进行线扫描。

⑦EDS能谱分析软件在计算原子百分比的时候采用的是峰强度的比值还是峰面积积分后的比值，另外有没有校正因子，峰谱图中可能同时含有某一原子的K系和L系的峰，计算的时候选择一个峰计算还是都参与计算，怎样选择更准确？

EDS能谱是根据谱峰面积和校正因子定量的。

校正的理论和方法有多种，目前最常用的是ZAF校正，即考虑原子序数（Z）、X射线吸收（A）和荧光效应（F）进行校正。具体方法目前基本都是靠仪器配套的软件自动完成的，对于初级用户，不用考虑人工校正。只要认识到“峰面积较大的对应的元素不一定较多”这一点就够了。

由于理论上同一元素不同谱峰的比值是常数，定量时通常是一个元素选择一个合适的谱峰，但对于不同的元素可以选择不同的线系。通常对于Z在11到30之间的元素，选K线；Z在29至71之间选L线，Z在72至92之间选M线。实际使用中，由软件程序自动选择，初级用户可以不用干预。（仅在出现严重的谱峰重叠的时候，考虑更换定量依据的线系。）

EDS能谱通常用于对质量分数高于1%的元素进行定量，且对于原子序数大于10的元素给出较可信的定量结果。相对误差在1%至10%之间，受样品条件、仪器状态和操作人员的水平等因素的影响。

对于原子序数小于10的元素的定量结果受定量方法选择的影响很大，基本上可以说是不靠谱的，相对误差大于10%。仅在含量较大的时候（即主成份）有意义，返回搜狐，查看更多