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PSD是基于横向光电效应的光电器件,属于光生伏特效应 PSD由三层构成,最上一层是P层,下层是N层,中间插入较厚的高阻I层,形成P-I-N结构
I
1
I_1
I1和
I
2
I_2
I2之和等于总的光生电流,
I
1
I_1
I1和
I
2
I_2
I2的分流关系取决于入射光点位置到两个信号电极之间的等效电阻
R
1
R_1
R1和
R
2
R_2
R2 PSD与表面上的光斑强度、分布、对称性和尺寸无关,只与位置有关 |
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