开始学习纳米级光刻机的小伙伴，可以由易到难看一下下面几本书，最后一本是ASML的光刻机之路，也可以大致了解一下。

纳米集成电路制造工艺（第2版）》是2017年清华大学出版社出版的书籍，作者是张汝京等。这是国内首本关于纳米集成电路制造工艺的著作。半导体产业领军人物张汝京组织，顶级半导体代工厂一线科研人员编写，清华大学王志华教授作序推荐。

2.书名：集成电路与光刻机   定价：58.0   ISBN：9787030657923   作者：王向朝,戴凤钊 等   版次：1   出版时间：2020-08  

3. 《超大规模集成电路先进光刻理论与应用》是2016年5月科学出版社出版的图书，作者韦亚一。