设备型号

JW-RF150

JY-MF150

整机规格

420( W )mm*390mm( D )*300mm( H )，28KG

腔体规格

Φ150mm×250mm，高纯度石英腔

整机功率

1500W

控制系统

8.8寸电阻触摸屏+ JW2.0系统 ，手动/自动

真空泵

飞跃VRD-8 2L/Min

等离子电源

射频电源 13.56MHZ/0-150W(固定阻抗匹配+远程控制调节)

中频电源 40KHZ/0-500W

放电结构

内置极板或外置电感耦合

内置极板

气路通道

两路气体

2）产品特点：JW-RF150型等离子清洗机等离子密度高活性强、不污染产品、低辐射（低于国家安全辐射范围）、固定阻抗网络简洁高效。JY-MF150型等离子清洗机清洗能量强、腔室温度高。两种产品全自动化控制，设置参数精度高，处理时间可设定，工艺参数可预设保存重复性好，集成度高，一键启停；体积小、适合实验室使用；采用电磁屏蔽材料，保证设备人员安全；专业化的软件系统控制、确保实验数据准确可重复。

3）应用范围：JW-RF150型等离子清洗机主要是通过氮气、氧气或氩气等各种工艺气体被电离后的等离子体来去除材料表面的氧化层和污染物，同时也能对材料表面进行聚合改性、活化、去胶、刻蚀等作用。适合处理高精密及不耐高温材料。JY-MF150型等离子清洗机主要是通过空气、氧气或氩气等各种工艺气体电解后等离子体来去除材料表面的氧化层和污染物，增加材料表面的亲水性及附着力适合一些耐高温材料加工前的预处理.