等离子清洗机工艺气体流量(压力)设置说明 |
您所在的位置:网站首页 › 等离子清洗工艺参数 › 等离子清洗机工艺气体流量(压力)设置说明 |
等离子清洗机工艺气体流量(压力)设置说明
等离子清洗机流量的大小直接导致了形成离子体量的多少,形成了离子体越多,作用于工件表面的反应越强烈,进而清洗效果也可能会越好,但需与射频功率协调作用。工艺气体流量同时也是影响舱体压力的一个重要因素,气体流量加大后,腔室的真空度降低。流量越大意味着离子越多,但是同时碰撞也会更多,清洗效果反而也可能会更差。 |
今日新闻 |
点击排行 |
|
推荐新闻 |
图片新闻 |
|
专题文章 |
CopyRight 2018-2019 实验室设备网 版权所有 win10的实时保护怎么永久关闭 |