什么是真空规管?原理及用途? |
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真空规管,真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域,如真空镀膜,太阳能集热管制作,真空冶炼等。真空规管一般是装在真空镀膜室的位置,是指电离规管,玻璃管端部用老虎钳夹破一点,插进真空室密封好,必须大气状态完成。 扩展资料分类1、热偶规目前国内的热偶规主要有51系列,53B/54D等。主要应用于低真空测量。2、皮拉尼系列(电阻规管)目前国内的电阻规型号主要是52T系列。主要以用于粗低真空测量。PG-500 配合表头使用PG-600 通讯型 数字信号直接接入PC机PG-700开关型 可以直接设定控制点,进行控制3、热阴极规管主要型号有ZJ-2系列,ZJ-10系列,ZJ-27系列,B-A规等。该型规管主要应用于高真空测量。参考资料来源:搜狗百科-真空规管 |
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