场发射扫描电子显微镜（FESEM）是电子显微镜的一种，扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

（863实验室-场发射扫描电子显微镜）

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场发射扫描电子显微镜的应用范围 

FESEM广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。 

1、场发射扫描电子显微镜的优点

（1）有较高的放大倍数，20-30万倍之间连续可调； 

（2）有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构； 

（3）试样制备简单，目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪（EDS）装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。

2、FESEM可为客户解决的产品质量问题 

（1）当产品表面存在污染物或异物时，可选择EDS分析污染物或异物含有哪些元素，对异物来源提供线索； 

（2）SEM形貌观察微观结构、颗粒物尺寸量测、截面法量测镀层厚度、异物成分分析、锡须观察、微米级长度、纳米级尺寸量测。 

3、X射线能谱仪（EDS）注意事项 

（1）无磁性或弱磁性，不易潮解且无挥发性的固态样品，样品尺寸小于长80mm*宽60mm*高60mm，当样品尺寸过大需切割取样，粉末样品最好由客户选择对样品无污染的包装方式。 

（2）取样的时候避免手和取样工具接触到需要测试的位置，取下样品后选择是否镀金处理，及时检测样成分品避免外来污染影响分析结果。 

4、场发射扫描电子显微镜的案例分析 

实例一：客户要求对LED荧光填充物进行成分分析

实例二：客户需对碳纳米管和石墨烯进行SEM形貌观察

文字编辑 | 王建（物理组组长）

 模特 | 张轶梁（工程师）