一、扫描电子显微镜SEM工作原理扫描电子显微镜SEM是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5-35KeV的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的细微电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。二、扫描电子显微镜SEM特点1.可以观察大块试样，制样方法简单2.场深大、三百倍于光学显微镜，适用于粗糙表面和断口的分析观察；图像富有立体感3.放大倍数变化范围大4.高分辨率5.可以通过电子学方法有效控制和......阅读全文