Olympus AL100 L6 /LB6 Wafer Loader |
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Olympus AL100 晶圓尺寸:4至6英寸 晶圓轉移與真空吸盤自動轉移 非接觸式預對準 方向平坦/缺口檢測:指定檢查前後的晶片角度 帶有真空吸盤的專用載物台 真空度:壓力600mm Hg(80kPa) 電源:AC 100V ~ 120V |
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