原子荧光光谱仪利用惰性气体氩气作载气，将气态氢化物和过量氢气与载气混合后，导入加热的原子化装置，氢气和氩气在特制火焰装置中燃烧加热，氢化物受热以后迅速分解，被测元素离解为基态原子蒸气，其基态原子的量比单纯加热砷、锑、铋、锡、硒、碲、铅、锗等元素生成的基态原子高几个数量级。原子荧光光谱法是通过测量待测元素的原子蒸气在辐射能激发下产生的荧光发射强度，来确定待测元素含量的方法。

　　原子吸收光谱仪可测定多种元素，火焰原子吸收光谱法可测到10-9g/mL数量级，石墨炉原子吸收法可测到10-13g/mL数量级。其氢化物发生器可对8种挥发性元素汞、砷、铅、硒、锡、碲、锑、锗等进行微痕量测定。

　　主要区别

　　1、光路不同：原子吸收光源、原子化器和检测器在一条光路上；原子荧光为垂直光路。

　　2、原理不同：原子吸收利用原子的特征吸收光谱；原子荧光则利用原子的激发-跃迁光谱

　　（荧光）。

　　3、灵敏度不同：对于原子吸收，增加光源强度同时会增加背景吸收，而原子荧光信号强度

　　与激发光源强度成正比，故灵敏度可以极大提高。

　　4、使用范围不同：因为原理的局限性，氢化法原子荧光光谱仪只能检测被测元素发生可以和还原剂发生氢化反应的11种元素，即使是金索坤采用火焰法-氢化法联用原子荧光光谱仪也只可以检测20种元素，而相对来说，原子吸收光谱可检测元素的范围就要大很多。