Abbr.

Full Name

释义

系统名称

部门

A1/A2

Hi/HiHi or Lo/LoLo

一二阶报警

气体

/

化学系统

FAC

AC

Activity Carbon

活性炭

水处理系统

FAC

ACB

Air Circuit Breaker

空气断路器

FAC

AEX

Ammonia Exhaust

碱性排气

管路名词

FAC

AHU

Air Handling Unit

空调箱

空调系统

FAC

AMHS

Automatic Material Handle System

自动物料传输系统

IT

APC

Automatic Pressure Control

自动压力控制

FAB

APCVD

Atmospheric Pressure CVD

常压化学气相沉积设备

TF

AR

Action Request

需整改的缺失

A/S

Air Shower

空气浴尘室

空调系统

FAC

AS

Ammeter Switch

电流表切换开关

电力系统

FAC

Atm

Atmosphere

101325Pa

，

1

公斤

压强单位

ATS

Automatic Transfer Switch

自动切换开关

任何系统

FAC

AEX

Ammonia Exhaust

碱性排气

空调系统

FAC

BOD

Biochemical Oxygen Demand

生化需氧

/

生化耗氧量

(

五日化学需氧量

)

水处理系统

FAC

BGW

Back Grindding Wastewater

晶背研磨废水

管路名词

FAC

CCTV

Close Circuit Television

闭路电视

监控系统

FAC

CDA

Compressor Dry Air

压缩干燥空气

管路名词

FAC

CDE

Chemical Dry Etching

化学干法蚀刻

ET

CDS

Chemical Dispense System

化学系统

气体

/

化学系统

FAC

CDW

Condensate Water

冷却水

空调系统

FAC

Ceiling

最高容许浓度

SHE

CHW

Chiller Water

冰水

空调系统

FAC

CIM

Computer Integrate Manufacture

计算机整合技术

组织名称

IT

C_Lab

Chemical Lab

化学实验室

组织名称

QRA

CMP

Chemical Mechanical Polish

化学机械研磨

组织名称

DF&CMP

COD

Chemical Oxygen Demand

即化学需氧量

水处理系统

FAC

CQC

Continuous Quality Control

连续品质控制系统

气体

/

化学系统

FAC

CUP

Central Utility Plant

中央动力厂房

建筑物名称

FAC

CVD

Chemical Vapor Deposition

化学气相沉积

TF

CW

City Water

自来水

管路名词

FAC

DAHW

Drain Ammonia Hydride

含氨废水

管路名词

FAC

DCC

Dry Cool Coil

干冷盘管

空调系统

FAC

DCS

Double Cooling System

双冷却系统

ET

DCVD

Dielectric CVD

介质化学气相沉积

TF

DF

Diffusion

扩散

组织名称

FAB

DIW

De-ionized Water

去离子水

水处理系统

FAC

DL

Direct Line

直接员工

DO

Dissolved Oxygen

溶解氧

水处理系统

FAC

DUV

Deep Ultraviolet

深紫外线

PH

DUPS

Dynamic Uninterruptable Power

System

动态不间断电源

动力系统

FAC

A

B

C

D