FAB 中的EES系统是什么 |
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FAB 中十分重视数据的收集和管理,通过各类系统会收集设备中发生的各种数据,然后利用这些数据来实现设备的监控,控制,分析,管理,我们称之为EES系统(Equipment Engineer System)。 在半导体FAB中,EES系统是FAB中必备的系统,其中包含了FDC/R2R/RMS/PMS/OEE 系统,其实这些系统都是从不同的角度来实现FAB中设备的精细化管理,FDC系统主要是设备生产过程的监控,收集设备中的Trace Data,通过有效的监控模型,来监控整个生产过程,从而防止大规模不良的发生R2R系统主要是通过对生产过程的实时调优,保证了生产工艺的稳定性,从而提升工艺CP/CPK RMS系统主要是针对设备的 Recipe实现了系统化管控,防止人为失误而造成的Recipe事故。 PMS系统就是管理FAB中设备PM和BM,怎么样提升PM的效率,该做PM的时候才做PM,实现设备CBM的管理,另外线边仓 Parts的管理,利用无线Pad实现无纸化的做业等等,都会在PMS中去实现,OEE系统主要是针对FAB各个设备的效率,瓶颈机台,设备Loss, 设备Tacttime,Alarm, 进行分析和管理,让工程师更加了解整个FAB的设备效率是什么情况,设备问题是出在哪里,这样就可以快速去解决。 |
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