半导体洁净室管道加热夹克光伏企业洁净室管道加热包法兰保温套 视频 |
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为什么工作温度多设定为120℃左右? Display(面板) ETCH部门,以IPS和INVENIA设备为例,常规设备工艺废气凝固点是80℃~120℃,所以一般将工作温度设定为120℃。 特例半导体行业PVD工艺需170℃(管路 O-ring需耐高温全氟产品),如武汉某厂使用180℃,因Pumpingline弯头较多,同时管道尺寸多数为4寸-6寸;再如无锡某外资12”FAB使用150℃,此公司Pumpingline以6寸为主,且单管弯头较少,稍低温度不易堵塞。
加热夹套系统是否均带UPS电源?是否可以停电?停电有何风险? 无必须配备UPS电源必要;如发生停电,停电后加热系统停止工作,管内介质会加速结晶,但是短时间(2-3天内)不至于引起堵塞宕机,有充足的维修缓冲时间。 如何防止超温持续加热问题发生?假设发生有和风险? 采用加热设定和温感反馈双重温控,温度变化(低/高)、故障皆有报警;无持续升温案例发生。
排风系统是否需要安装加热夹套? 废气经Scrubber处理大部分易结晶物质,且排风系统管径相对较大,不易堵塞;出于成本考虑,排风系统一般不加装加热夹套。 加热夹套/加热带分别为什么材质?如何选型? ①加热夹套(Heating jacket)内外均为不燃材料,外层为耐高温特氟龙涂层布,一般用于Pumpingline(真空管路)。 ②加热带为硅胶裹覆,外包阻燃橡塑保温棉,一般用于Gas line(特气管路)。
加热夹套(Heating jacket)如何维护保养,平时做哪些点检?是否有寿命周期? ①因加热夹克安装后的工作装为静态,不需特殊维护保养,只需进行每日工作温度点检即可。监控报警或点检中发现部分单元故障,可更换备品,产品设计便于拆装,更换简单。 ②寿命:≥5年 真空管加热夹套和特气管加热带有什么区别? 真空管加热夹套属于高温加热,工作温度120℃;特气管道加热属于低温伴热带,如BCL3加热温度35℃。 |
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