光学镀膜是指在真空条件下，用物理的方法在元件表面镀上一层或多层膜的过程。光学镀膜可以改变元件的光学性能，以满足不同场景的需求。

　　随着工业技术的发展，用户对镀膜质量以及生产成本提出了更高的要求，不断提高的用户需求使得必须不断改进生产工艺。

　　光学镀膜机结构

　　光学镀膜机由真空系统、蒸镀系统、冷却系统和电气系统组成，其中真空系统由真空罐和排气系统组成。

　　真空罐是镀膜机的主体，镀膜过程就是在真空罐中完成的，通过连接阀将真空罐和排气系统相连。

　　为了防止空气分子对溅射离子的影响、提高膜层的质量，在工作时，必须将光学元件和离子源置于真空环境中。

　　排气系统主要由机械泵、罗茨泵和真空泵组成，负责排出真空罐内的气体、使罐内形成真空环境。

　　蒸镀系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置有很多种，如电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。

　　光学镀膜机工作原理

　　光学镀膜机通过真空溅射的方式在光学元件上涂镀薄膜， 以此改变元件对入射光线的反射率和透过率。

　　同时，为了尽可能地减少元件表面的反射损失、提高成像质量，往往涂镀多层薄膜。光学元件镀膜后，光在多层膜层的表面进行多次反射和透射，形成多光束干涉，通过控制膜层的厚度和折射率，可以得到不同的强度分布。

　　利用这一原理可以制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等，以满足更加复杂的需求。

　　相比于传统的真空镀膜机，光学镀膜机有以下 3 个特点。

　　（1）光学薄膜表面光滑，膜层间的折射率在表面上可以跃变但在膜层内折射率是稳定不变的。

　　（2）光学镀膜机镀膜过程中基件的温升更低，所以光学镀膜机可以在对温度较敏感元件的表面镀膜。

　　（3）对于光学元件的镀膜，光学镀膜机具有更高的精度，膜层更加均匀、光学性能更加稳定。目前，光学镀膜机已经在光通信、光显示、激光加工、航空航天和 AR（Augmented Reality，增强现实）、VR（Virtual Reality，虚拟现实）等领域得到了广泛的应用。