FPA-3030i5+步进器旨在满足并超越物联网和MEMS制造商的要求。

FPA-3030i5+步进器为IoT和MEMS制造商处理各种基板和材料提供了灵活性。FPA-3030i5+步进器能够提供350nm的成像分辨率，同时保持小于或等于40nm的叠加精度和等于或超过每小时104个晶圆的吞吐量。

*IoT：“物联网”或IOT是由传感器、执行器、数据网络和数据处理硬件和软件组成的复杂系统，无需人工交互即可收集、传输、评估和处理数据。

**MEMS：“微机电系统”或MEMS是具有集成传感器、执行器和电子电路的微米级机械结构的设备。

FPA-3030i5+步进器配备高分辨率i线投影镜头

FPA-3030i5+i-line步进器配备1:5缩小放大率投影镜头，可在22mmx22mm视场内提供NA0.63成像。350nm或更小的FPA-3030i5+分辨率将满足或超过大多数（如果不是全部）物联网和MEMS应用的量产成像要求。

FPA-3030i5+步进器享有佳能长期畅销的FPA-3000平台步进器的高可靠性

自1994年推出FPA-3000i4以来，FPA-3000平台步进器一直受到客户的欢迎，并且在可靠性方面有着良好的记录。FPA-3030i5+步进器以FPA-3000的成功为基础，同时提供改进，包括6轴非接触式晶圆载物台和改进的聚焦系统，以提高产量。

与FPA-3000i5标线和配方的兼容性允许有效使用现有设施和资产。

FPA-3030i5+晶圆进料器和分划板更换器系统与各种基板类型兼容

FPA-3030i5+晶圆进料器能够支持从100毫米（4英寸）到200毫米（8英寸）的各种晶圆尺寸。还提供可选的多晶圆套件，允许步进器在2种晶圆尺寸之间快速切换。

FPA-3030i5+分划板更换器可配置为5英寸或6英寸分划板处理，允许重复使用现有分划板。