真空箱氦检是一种常用的检测手段，主要用于检测真空密封件的泄漏情况。下面是真空箱氦检的步骤和原理：

将待检测的部件放入真空箱内，并将真空箱抽成高真空状态；

在真空箱内注入氦气（He）至一定压力，通常为0.1-1.0 atm，以确保待检部件的外部环境为纯氦气环境；

根据需要，在待检部件的一侧或两侧吸附氦气的探测器，分别称为前置探测器和后置探测器。在前置探测器和后置探测器之间形成氦气的流动路径和负压差；

当待测部位存在氦气泄漏时，泄漏气体从泄漏点进入流动路径，到达前置探测器并被探测器检测到，通常通过信号增强器和音频信号得到泄漏信号，同时在照明室内观察泄漏点位置。

真空箱氦检利用了氦气的小分子质量、弥散性和惰性等特点。氦气分子非常小，容易从泄漏处逸出，并与待测部件周围的空气混合。此时，利用真空箱内高真空状态下的负压力，将环绕的混合气体抽走，留下氦气，使得待检部位外部环境为纯氦气环境。在这种状态下，如果待检部位存在泄漏，氦气就会逸出并进入流动路径，被前置探测器和后置探测器依次检测到，形成泄漏信号。通过泄漏信号的强度和照明室内观察泄漏点位置，可以确定泄漏位置和大小。

安徽诺益科技生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在众多行业上，满足各种应用. 可满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.

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