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该款为对应特殊Glass Wafer的Load Port,该款也继承了RORZE标准的Load Port的开关门方式,可以精密控制FOUP的开关门动作的同时,实现高水平的洁净度控制。 FOUP 和 Auto FOSB标准化对应 RORZE独特的开关门机构及高精度的动作控制,以及高洁净度控制。
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