AZ 4562/AZ 4533 光刻胶 |
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AZ®4500系列 具有最佳粘附力的厚光刻胶 特点:AZ ® 4500系列(AZ ® 4533和AZ ® 4562)是正性厚光刻胶,在普通湿法蚀刻和电镀工艺中具有优良的粘附性能: l 优化对所有常见基材的附着力 l 宽广的工艺参数窗口,可实现稳定且可重复的光刻工艺 l 与所有常见的显影液兼容(基于KOH或TMAH) l 与所有常见的去胶剂兼容(例如AZ100去胶剂、有机溶剂或碱性溶剂) l 对g,h和i线敏感(约320-440 nm) l 光刻胶厚度范围约 3-30微米 AZ ® 4500系列(AZ ® 4533和AZ ® 4562)的溶剂浓度不同,因此可达到的光刻胶膜厚有较大的范围: 光刻胶型号 光刻胶膜厚范围 包装规格 AZ ® 4533 转速为4000 rpm时,膜厚约为3.3 µm;通过改变转速,膜后可达2.5-5 µm。 多规格包装,如1L、2.5L等 AZ ® 4562 转速为4000 rpm时,膜厚约为3.3 µm;通过改变转速,膜后可达4.5-10 µm;调整旋转轮廓(中等旋涂速度下短时间旋涂),可达30 µm膜厚。 多规格包装,如1L、2.5L等 若光刻胶膜厚度 30 µm?通常,AZ®4562可以用来涂覆厚度达30微米及以上。然而,在该厚度范围内,软烘烤、曝光、显影等变得非常耗时。此外,如果涂得太厚,AZ®4562也可能在曝光期间形成N2气泡。 因此,对于厚度大于30 µm的光刻胶膜厚度,强烈建议使用化学放大的AZ®40 XT光刻胶。 显影液——适用于AZ ® 4500光刻胶 如果可以使用含金属离子的显影液,可使用1:4稀释的KOH基AZ®400K作为显影液(对于更高的光刻胶膜厚度,可用1:3.5 - 1:1的稀释浓度)。 如果必须使用不含金属离子的显影液,我们建议使用基于TMAH基的AZ®326 MIF,AZ®726 MIF或AZ®826 MIF显影剂(未稀释)。
去胶剂——适用于AZ ® 4500光刻胶 对于非交联的光刻胶薄膜,可以使用AZ®100作为去胶剂,DMSO或其他常见的有机溶剂作为剥离剂。 如果光刻胶膜已交联(例如,在干法蚀刻等离子工艺或离子注入时,> 140°C的高温步骤时),我们建议使用不含NMP的TechniStrip P1316作为去胶剂。 AZ ® 4500系列(AZ ® 4533和AZ ® 4562)的溶剂浓度不同,因此可达到的光刻胶膜厚有较大的范围: 光刻胶型号 光刻胶膜厚范围 包装规格 AZ ® 4533 转速为4000 rpm时,膜厚约为3.3 µm;通过改变转速,膜后可达2.5-5 µm。 多规格包装,如1L、2.5L等 AZ ® 4562 转速为4000 rpm时,膜厚约为3.3 µm;通过改变转速,膜后可达4.5-10 µm;调整旋转轮廓(中等旋涂速度下短时间旋涂),可达30 µm膜厚。 多规格包装,如1L、2.5L等 AZ ® 4500系列(AZ ® 4533和AZ ® 4562)的溶剂浓度不同,因此可达到的光刻胶膜厚有较大的范围: 光刻胶型号 光刻胶膜厚范围 包装规格 AZ ® 4533 转速为4000 rpm时,膜厚约为3.3 µm;通过改变转速,膜后可达2.5-5 µm。 多规格包装,如1L、2.5L等 AZ ® 4562 转速为4000 rpm时,膜厚约为3.3 µm;通过改变转速,膜后可达4.5-10 µm;调整旋转轮廓(中等旋涂速度下短时间旋涂),可达30 µm膜厚。 多规格包装,如1L、2.5L等 |
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