真空阀

真空阀应用：

真空阀用于高真空或超高真空系统设备，当必须在封闭的真空处理系统中保持真空。真空阀用于控制进入真空腔体的气流，隔离，排气，提供减压或控制传导。闸阀、Inline阀和角阀是用于高真空或超高真空应用的常见类型的真空阀。

额外的阀门类型包括蝶阀，传输阀，球阀，钟摆阀，全金属阀，真空阀，铝合金角阀，特氟龙涂层真空阀和直通阀。

蝶阀是快速打开的阀门，由金属圆盘或叶片组成，其枢轴线与管道中的流动方向成直角，当在轴上旋转时，阀门密封阀体中的阀座。

传输阀（矩形闸阀）适用于负载锁定真空腔体和转移室之间的分隔阀，以及转移室和半导体制造设备中的处理室之间的分隔阀。

真空球阀是四分之一转直通流量阀，具有圆形封闭组件，带有匹配的圆形阀座，可实现均匀的密封应力。

钟摆阀是在过程真空腔体和涡轮分子泵入口之间安装一个大节流阀。这种真空钟摆阀通常设计为闸阀或摆阀，应用包括OLED，FPD和PV工业制造系统。

全金属阀门设计用于超高真空环境，其中高温不允许使用弹性体和低温垫片金属。可烘烤的全金属阀门可提供从大气压到10-11mbar以下的可靠高温密封。

真空阀门可在半导体生产系统和化学和微粒污染的应用中可靠地运行。它们可用于粗真空，高真空或超高真空环境。

铝合金角阀的入口与出口成直角。这些角阀材料为铝A6061-T6，用于半导体和仪器制造，研发和工业真空系统的粗到高真空应用。

铁氟龙涂层真空阀是一种完全设计的不锈钢真空组件设备，具有耐用且高度耐化学腐蚀的涂层。

保固条件