显影后光刻胶“漂胶”怎么解决？

如果是偶然发现漂胶，可以从以下角度分析出问题的原因在什么地方？ 1. 检查是否是更换某种衬底后或者某种光刻胶后才出现的？如果是，则说明是由于这种光刻胶与当前衬底粘附性不够导致的，建议使用增附剂改善； 2. 检查空气湿度有没有变化，一般来说，正常的空气湿度约为30-50%如果空气湿度过大，光刻胶的粘附性会有较大的影响，当空气湿度大于70%时，不再适合做光刻了； 3. 检查衬底有没有水汽，建议在涂胶前将衬底在150℃下烘烤3min出去水汽