薄膜光学与薄膜技术基础/普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材

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　　《薄膜光学与薄膜技术基础/普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。全书共分三篇13章：第一篇分为4章，讲述薄膜光学基本理论，内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算；第二篇分为6章，分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用；第三篇分为3章，比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术，以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展，《薄膜光学与薄膜技术基础/普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。　　《薄膜光学与薄膜技术基础/普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材》内容翔实，概念清晰，数学推导严谨，层次分明，三篇分章具有相对独立性，在内容上作适当取舍可作为不同专业的高年级本科生教材使用，也可作为研究生的教学参考书。对于从事薄膜光学与薄膜技术的专业科技工作者，《薄膜光学与薄膜技术基础/普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材》也具有重要参考价值。第一篇薄膜光学基本理论第1章薄膜光学的电磁理论基础1.1麦克斯韦方程1.2平面电磁波1.2.1复矢量波动方程——齐次矢量亥姆霍兹方程1.2.2理想介质中的平面波解1.2.3吸收介质中的平面波解1.3平均电磁能流密度——光强1.4电磁波谱、光谱习题参考文献第2章平面光波在两介质分界平面上的反射与透射2.1各向同性理想介质界面的反射与透射2.1.1S波反射与透射2.1.2P波反射与透射2.2各向同性吸收介质界面的反射与透射2.2.1S波反射与透射2.2.2P波反射与透射2.3非均匀介质界面的反射与透射2.3.1几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播2.3.2任意非均匀介质界面的反射系数方程2.4各向异性介质界面的反射与透射2.4.1平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式2.5反射系数和透射系数随入射角的变化2.5.1全反射与倏逝波2.5.2全透射2.5.3反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化2.6反射率和透射率2.6.1理想介质分畀面的反射率和透射率2.6.2吸收介质分界面的反射率和透射率2.6.3空气与金属导体表面的反射率习题参考文献第3章平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射3.1法向阻抗和光学有效导纳的概念3.2平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射3.3平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射3.3.1平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法3.3.2多层增透膜和高反射膜的基本构成特点3.4非均匀介质膜层的特征矩阵3.4.1一阶近似3.4.2二阶近似3.5各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法3.5.1各向异性介质中的矩阵波动方程3.5.2各向异性介质薄膜的矩阵波动方程3.5.3均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解3.5.4单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵3.5.5非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解3.5.6单层各向异性介质薄膜的反射与透射习题参考文献第4章膜系设计图示法4.1矢量法4.2导纳图解法4.2.1单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图4.2.2单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图4.2.3多层膜系等折射率导纳圆图4.3金属膜导纳圆图4.4膜系层间电场分布习题参考文献

第二篇光学薄膜分类及应用第5章增透膜5.1表面反射对光学系统性能的影响5.2基底介质非相干叠加的透射率5.3透射滤光片组合透射率5.4均匀介质增透膜5.4.1单层均匀介质增透膜5.4.2多层均匀介质增透膜5.5非均匀介质增透膜5.6入射角变化对透射率的影响5.7增透膜应用实例——液晶显示增透膜习题参考文献第6章高反射膜6.1反射镜组合的反射率6.2周期多层膜系的反射率6.2.1周期多层膜系的特征矩阵6.2.2周期多层膜系的反射率和透射率6.3[HL]m类型的周期多层膜6.4|（0.5L）H（0.5L）|m类型的对称周期多层膜6.5周期多层膜构成的宽带高反射膜6.6中远红外区域的多层高反射膜6.7软X射线区域的多层高反射膜6.8金属反射镜6.8.1常用金属反射镜6.8.2金属-介质反射镜6.9影响反射特性的因素6.10高反射镜应用实例6.10.1激光高反射镜6.10.2光刻机系统193nm高反射膜6.10.3DLP/LCoS投影薄膜——宽角度高反射镜习题参考文献第7章带通滤光片7.1带通滤光片的特性描述7.2带通滤光片的基本构型——法布里-珀罗干涉仪及其变形7.3法布里-珀罗干涉仪透射率计算7.3.1单层薄膜反射与透射计算的有效界面法7.3.2膜系透射定理7.3.3法布里-珀罗干涉仪的透射率计算7.3.4法布里-珀罗干涉仪透射特性分析7.3.5特殊带通滤光片信噪比的计算7.4窄带和中等带宽滤光片7.4.1法布里-珀罗干涉滤光片……第三篇薄膜技术基础

内容简介: 　　《薄膜光学与薄膜技术基础/普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。全书共分三篇13章：第一篇分为4章，讲述薄膜光学基本理论，内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算；第二篇分为6章，分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用；第三篇分为3章，比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术，以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展，《薄膜光学与薄膜技术基础/普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。　　《薄膜光学与薄膜技术基础/普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材》内容翔实，概念清晰，数学推导严谨，层次分明，三篇分章具有相对独立性，在内容上作适当取舍可作为不同专业的高年级本科生教材使用，也可作为研究生的教学参考书。对于从事薄膜光学与薄膜技术的专业科技工作者，《薄膜光学与薄膜技术基础/普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材》也具有重要参考价值。目录: 第一篇薄膜光学基本理论第1章薄膜光学的电磁理论基础1.1麦克斯韦方程1.2平面电磁波1.2.1复矢量波动方程——齐次矢量亥姆霍兹方程1.2.2理想介质中的平面波解1.2.3吸收介质中的平面波解1.3平均电磁能流密度——光强1.4电磁波谱、光谱习题参考文献第2章平面光波在两介质分界平面上的反射与透射2.1各向同性理想介质界面的反射与透射2.1.1S波反射与透射2.1.2P波反射与透射2.2各向同性吸收介质界面的反射与透射2.2.1S波反射与透射2.2.2P波反射与透射2.3非均匀介质界面的反射与透射2.3.1几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播2.3.2任意非均匀介质界面的反射系数方程2.4各向异性介质界面的反射与透射2.4.1平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式2.5反射系数和透射系数随入射角的变化2.5.1全反射与倏逝波2.5.2全透射2.5.3反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化2.6反射率和透射率2.6.1理想介质分畀面的反射率和透射率2.6.2吸收介质分界面的反射率和透射率2.6.3空气与金属导体表面的反射率习题参考文献第3章平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射3.1法向阻抗和光学有效导纳的概念3.2平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射3.3平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射3.3.1平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法3.3.2多层增透膜和高反射膜的基本构成特点3.4非均匀介质膜层的特征矩阵3.4.1一阶近似3.4.2二阶近似3.5各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法3.5.1各向异性介质中的矩阵波动方程3.5.2各向异性介质薄膜的矩阵波动方程3.5.3均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解3.5.4单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵3.5.5非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解3.5.6单层各向异性介质薄膜的反射与透射习题参考文献第4章膜系设计图示法4.1矢量法4.2导纳图解法4.2.1单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图4.2.2单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图4.2.3多层膜系等折射率导纳圆图4.3金属膜导纳圆图4.4膜系层间电场分布习题参考文献

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