国家标准

2023-09-14 00:39| 来源: 网络整理| 查看: 265

硅片直径测量方法 Test method for measuring diameter of semiconductor wafer 国家标准推荐性现行

国家标准《硅片直径测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位洛阳单晶硅有限责任公司。

主要起草人刘玉芹、蒋建国、张静雯、冯校亮。

目录标准状态发布于 2009-10-30 实施于 2010-06-01 废止代替了以下标准

GB/T 14140.1-1993 （全部代替）

硅片直径测量方法光学投影法

GB/T 14140.2-1993 （全部代替）

硅片直径测量方法千分尺法当前标准

GB/T 14140-2009 现行

硅片直径测量方法基础信息标准号 GB/T 14140-2009 发布日期 2009-10-30 实施日期 2010-06-01 全部代替标准 GB/T 14140.1-1993,GB/T 14140.2-1993 标准类别方法中国标准分类号 H82 国际标准分类号 29.045 29 电气工程 29.045 半导体材料归口单位全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门国家标准化管理委员会起草单位洛阳单晶硅有限责任公司起草人刘玉芹蒋建国张静雯冯校亮相近标准(计划) 20221951-T-339 汽车及汽车列车最小转弯直径转弯通道圆直径和外摆值测量方法 GB/T 12540-2009 汽车最小转弯直径、最小转弯通道圆直径和外摆值测量方法 GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法 GB/T 26826-2011 碳纳米管直径的测量方法 GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 DB15/T 883-2015 平均纤维直径及纤维直径分布测定方法赛罗兰（sirolan)-激光扫描纤维直径分析仪法 DB13/T 1354-2010 锦纶6综丝直径及直径偏差率的测定 DB65/T 2615-2006 毛线纤维直径试验方法视觉纤维直径分析仪(OFDA)法 YS/T 28-1992 硅片包装 YS/T 28-2015 硅片包装

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