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晶圆载环总成的角度定位方法以及实施该方法的机构专利检索

2024-02-24 04:54| 来源: 网络整理| 查看: 265

1.一种晶圆载环总成的角度定位方法,其中所述晶圆载环总成包含有一环圈、一撑张于所述环圈中的可透光薄膜,以及一附着于所述可透光薄膜上的晶圆;所述角度定位方法包含有下列步骤:a)在所述可透光薄膜上设置一非透明的定位标签;b)使所述晶圆载环总成绕一旋转中心旋转,用于使所述定位标签可旋转地通过一光传感器的感测位置;c)在所述光传感器侦知所述定位标签通过所述光传感器的感测位置之后,使所述晶圆载环总成再旋转一预定角度α后停止,以使所述定位标签到达一离开所述光传感器的感测位置的目标位置。2.如权利要求1所述的晶圆载环总成的角度定位方法,其特征在于:在步骤c)中,当所述定位标签从一静止位置旋转到被所述光传感器侦知时,计算出所述定位标签的旋转角度θ,之后使所述晶圆载环总成再旋转所述预定角度α后停止,使所述定位标签到达相对所述定位标签的静止位置为所述旋转角度θ加上所述预定角度α的目标位置。3.如权利要求2所述的晶圆载环总成的角度定位方法,其特征在于:所述旋转角度θ为:所述定位标签从所述静止位置旋转到所述定位标签的一前缘被所述光传感器侦知时的旋转角度θ1,或者所述定位标签从所述静止位置旋转到所述定位标签的一后缘被所述光传感器侦知时的旋转角度θ2,或者所述定位标签从所述静止位置旋转到所述定位标签的一中心位置通过所述光传感器的感测位置时的旋转角度θ3;其中所述旋转角度θ3以下列方式求得:i)利用所述旋转角度θ1与θ2计算而得,即,所述旋转角度θ3=(θ1+θ2)/2;ii)利用所述定位标签从所述静止位置旋转到所述定位标签的一侧边的一第一位置被所述光传感器侦知时的旋转角度θ4,以及所述定位标签从所述静止位置旋转到所述定位标签的侧边的一第二位置被所述光传感器侦知时的旋转角度θ5计算而得,即,所述旋转角度θ3=(θ4+θ5)/2;iii)利用所述旋转角度θ1、θ4、θ5以及θ2计算而得,即,所述旋转角度θ3=(θ1+θ2+θ4+θ5)/4。4.如权利要求3所述的晶圆载环总成的角度定位方法,其特征在于:以所述定位标签从所述静止位置旋转到所述定位标签的中心位置通过所述光传感器的感测位置时的旋转角度θ3作为所述旋转角度θ。5.如权利要求4所述的晶圆载环总成的角度定位方法,其特征在于:所述定位标签具有条形码。6.如权利要求5所述的晶圆载环总成的角度定位方法,其特征在于:在步骤c)中,当所述定位标签到达所述目标位置时,为座落在一条码读取机的读取位置上。7.如权利要求1至6其中任一项所述的晶圆载环总成的角度定位方法,其特征在于:在步骤b)中,所述晶圆载环总成被固定于一旋转台上,并通过所述旋转台带动所述晶圆载环总成绕所述旋转中心旋转。8.如权利要求7所述的晶圆载环总成的角度定位方法,其特征在于:在步骤b)中,所述晶圆载环总成沿一递送路径被递送至所述旋转台上,且在步骤c)中,当所述定位标签到达所述目标位置时,所述定位标签座落在所述递送路径上。9.如权利要求8所述的晶圆载环总成的角度定位方法,其特征在于:在步骤c)之后,还包含有将所述晶圆载环总成沿着所述递送路径移出所述旋转平台的步骤。10.如权利要求7所述的晶圆载环总成的角度定位方法,其特征在于:所述光传感器位于所述旋转台的外部且相对于所述旋转台的下方,使所述光传感器所发出的感测光线,自所述晶圆载环总成的可透光薄膜的一底面往所述可透光薄膜的一顶面穿过所述可透光薄膜,在所述可透光薄膜上建立出所述光传感器的感光位置。11.一种用于实施如权利要求1至6其中任一项所述的晶圆载环总成的角度定位方法的机构,其特征在于包含有:一旋转台,用于承置所述晶圆载环总成,所述旋转台受一马达驱动而带动所述晶圆载环总成旋转;一光传感器,位于所述旋转台的外部,用于在所述晶圆载环总成的可透光薄膜上建立出所述感光位置。12.如权利要求11所述的机构,其特征在于:还包含一条码读取机,位于所述旋转台的外部,用于在所述晶圆载环总成的可透光薄膜上建立一条形码读取位置。13.如权利要求12所述的机构,其特征在于:所述光传感器的位置低于所述旋转台,而所述条码读取机的位置高于所述旋转台。



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