PV、pv、Power、N、ΔN之间的关系 | 您所在的位置:网站首页 › 各单位换算关系 › PV、pv、Power、N、ΔN之间的关系 |
一、PV释义: PV (Peak to valley),也叫峰谷值,是光学表面面形质量的常见指标。它是指在取样范围内(基于2D轮廓线或者3D数据地图),去除基准面之后;最高点和最低点之间的高度差。 PV值以物理长度为单位,其意义也易于理解。基于所需的基准面,所有像素最大的偏差范围,直接了当地反映了当前光学表面的加工质量。根据以往长期光学测试的经验,PV值和另一个重要的面形指标RMS,常常保持着一定的比例关系,一般在5:1左右。 PV值是一个非常“特立独行”的面形指标,和RMS(均方根误差),Sa(平均高度差)有很大不同。RMS和Sa作为典型的统计面形指标,是所有有效的像素点都参与平均而来,极少数的极值点会被所有像素平均;而PV值却恰恰相反,是在百万像素中,仅仅选取最极端偶然的最低最高的两个像素,决定结果。这一计算方式使PV值在高分辨率干涉仪上重复性,可复现性,可比对性都变得很困难。 二、何为Power、PV、pv ――PV值与移出Power值后的pv值 pv^2=PV^2-Power^2
三、关于PV值及Power值与N及△N的关系 参考文献: 徐德衍,光学元件技术要求与检验国际新标准的若干问题,光学仪器,第24卷 第1期,2002。 迄今为止, 绝大多数国内光学厂家仍习惯沿用“N ”,“ΔN ”表示面形偏差(GB2831―81) , 这种表示简明, 易懂但“粗”、且也遗漏些信息。下面解释一下PV 值及Power值与N及ΔN之间的对应关系。 从PV值及Power 值定义去考虑, 对于一个理想的大球波面, 其PV 值等于Power 值, 换句话说, PV值与Power值愈接近, 波面不规则性的影响愈小; 相反, PV值与Power 值相差愈大, 波面不规则程度(或称局部误差) 愈明显。
从图中可以看出,对于较理想波面,2倍的PV值或Power值(一般均以波长为单位)可作为光圈数N的参考数; 对于不规则波面,丨PV-Power丨的2倍可作为△N的参考值,Power值的2倍作为N的参考。 四、摘自:光学元件技术要求与检验国际新标准 关于PV值及Power值与N及△N:无严格对应关系 对于较好的波面:2*PV(Power)≈N 对于不规则波面:2*丨PV-Power丨≈△N 2*Power≈N 结论: 1、单纯用PV值(指标)评定波面或镜面是不够的; 2、应指出是相对于最佳拟合球面的PV值或就是两波面最大距离的PV值; 3、考虑到波面的旋转对称性是十分重要的,尤其在神光装置中的补偿效果; 4、建议:定义的PV值用大写;用最佳拟合球面分离出的PV值用小写,以示区别。 五、何时点亮Power摘自梁文军《干涉仪原理及应用》 1、测试物镜时点亮Power 2、测试平面镜时不点亮Power 六、摘自“浅析光学表面的表示方法及其相互关系” 1、最大峰谷值与光圈局部误差的关系 最大峰谷值是表面最大峰值与最小谷值之差。光圈局部误差是指任意方向上干涉条纹的不规则程度。前者的测量基准时拟合平面,后者是直条纹(理想平面)。(高精度表面通常为波浪形状)对于波浪形面形,二者是一致的。光圈局部误差判读时如果出现对直条纹的正偏离(如中心高)和负偏离(如塌边)则按其中的绝对值最大者取值。因此,最大峰谷值的峰值与谷值中的绝对值大者相当于局部误差值。当最大峰值与最小谷值为未知时,可按最大峰谷值的五分之三来估算。 2、最大峰谷值与半径误差光圈数的关系 在低精度、中等精度的光学表面中,凸凹形状的表面表现出半径误差(光圈数N)为主要误差,而局部光圈数ΔN经常在0.1N以内(ΔN其实很大,);光学表面半径误差光圈数N按包含凸凹形状顶点在内的截面上的最大峰谷值计算得到,对称零件的表面最大峰谷值接近直径方向的截面。 pv=N*λ/2,则N=2pv/λ 在zygo干涉仪上pv参数设定0.5 因此N=PV/λ 这取决于你是测平面还是测曲面,还取决于你是否remove POWER还是keep POWER。如果测平面的flatness,应keep POWER,此时PV=N/2;如果remove power则测得的PV=IRR=∆N/2;如果测球面,测只能测IRR,此时同平面的IRR一样测,要说明的是以上的等式关系是以单位为wave为准。 zygo仪器测量光学零件的光圈(N),读的不是很准,要读的话就是软件上面surface map 中的power值,不过要把单位转化成光学单位。至于局部光圈读profile map中的pv直,很准确,把surface map 中的line放在最高点和最低点位置,看高或低所占的pv的比例就行 一道圈是面型偏差有二分之一个波长大小,546.1nm是标准波长,PV是面型偏差的最大值,除以546.1就是几分之几波长,和二分之一个波长比较,有几个二分之一波长就有几到圈
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