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CP 是把坏的 Die 挑出来,可以减少封装和测试的成本。可以更直接的知道 Wafer 的良率。
FT 是把坏的 chip 挑出来;检验封装的良率。 现在对于一般的 wafer 工艺,很多公司多吧 CP 给省了;减少成本。
CP
对整片Wafer的每个Die来测试
而FT
则对封装好的Chip来测试。
CP
Pass
才会去封装。然后FT,确保封装后也Pass。
WAT 是 Wafer Acceptance Test ,对专门的测试图形( test key )的测试,通过电参数来监 控各步工艺是否正常和稳定;
CP 是 wafer level 的 chip probing ,是整个 wafer 工艺,包括 backgrinding 和 backmetal ( if needed ),对一些基本器件参数的测试,如 vt,Rdson,BVdss,Igss,Idss 等,一般测试 机台的电压和功率不会很高;
FT 是 packaged chip level 的 Final Test ,主要是对于这个( CP passed ) IC 或 Device 芯 片应用方面的测试,有些甚至是待机测试;
Pass FT 还不够,还需要作 process qual 和 product qual CP 测试对 Memory 来说还有一个非常重要的作用, 那就是通过 MRA 计算出 chip level 的 Repair address ,通过 Laser Repair 将 CP 测试中的 Repairable die 修补回来,这样保证了 yield 和 reliability 两方面的提升。
CP 是对 wafer 进行测试 , 检查 fab 厂制造的工艺水平
FT 是对 package 进行测试 , 检查封装厂制造的工艺水平
对于测试项来说 , 有些测试项在 CP 时会进行测试 , 在 FT 时就不用再次进行测试了 , 节省了 FT 测试时间 ; 但是有些测试项必须在 FT 时才进行测试 ( 不同的设计公司会有不同的要求 ) 一般来说, CP 测试的项目比较多,比较全; FT 测的项目比较少,但都是关键项目,条件严 格。但也有很多公司只做 FT 不做 CP( 如果 FT 和封装 yield 高的话, CP 就失去意义了 ) 。
在测试方面, CP 比较难的是探针卡的制作,并行测试的干扰问题。 FT 相对来说简单一点。 还有一点, memory 测试的 CP 会更难,因为要做 redundancy analysis, 写程序很麻烦。
CP 在整个制程中算是半成品测试, 目的有 2 个, 1 个是监控前道工艺良率, 另 1 个是降低后 道成本(避免封装过多的坏芯片),其能够测试的项比 FT 要少些。最简单的一个例子,碰 到大电流测试项 CP 肯定是不测的(探针容许的电流有限),这项只能在封装后的 FT 测。
不过许多项 CP 测试后 FT 的时候就可以免掉不测了(可以提高效率),所以有时会觉得 FT 的测试项比 CP 少很多。
应该说 WAT 的测试项目和 CP/FT 是不同的。 CP 不是制造( FAB )测的 ! 而 CP 的项目是从属于 FT 的(也就是说 CP 测的只会比 FT 少) ,项目是完全一样的;不同的 是卡的 SPEC 而已; 因为封装都会导致参数漂移, 所以 CP 测试 SPEC 收的要比 FT 更紧以确保 |
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