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一年才生产几十台,为什么ASML的EUV光刻机产量那么低?

2023-10-06 18:54| 来源: 网络整理| 查看: 265

作为半导体芯片制造的关键一环,想要制造出先进的芯片,一台先进的光刻机是少不了的,而全球能够生产光刻机的公司不少,但是来自荷兰的ASML仍然是垄断了顶尖光刻机技术领域,目前最先进的EUV光刻机也只有ASML能够实现量产,但是即使如此,EUV光刻机再2019年的产量不过才几十台。

ASML的EUV光刻机产能低,很大程度上是因为EUV光刻机代表着目前最先进的光刻技术,也是全球多项顶尖技术结合的精华,本身结构复杂,有5万多个零部件,良品率低,而且需要非常长的制造时间,据了解,一台EUV光刻机的交付时间长达21个月,也就是说2020年订购的EUV光刻机可能需要到2022年才能交货,这个时间显然是相当长了。

另外一方面,全球有实力使用EUV光刻机的芯片制造厂也就那么几家,比如台积电、三星和英特尔,这些还算是业界的巨头企业,一台EUV光刻机的价格高达1.2亿美元,再加上需要提前预定和超长的交付时间,所以一年区区几十台的产量就非常正常了。

然而,ASML光刻机可不是全凭自身实力研发出来的,英特尔、三星和台积电都是ASML的股东,也都共同参与了EUV光刻机的研发,而这几家企业都可以获得ASML的光刻机优先供应权,而台积电2019年一买就是19台,这样处于股东之外的企业自然就只能排队等着了,这样变相控制了ASML光刻机的产量。



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