一种双工位USC清洗机的制作方法

本发明属于微电子技术领域半导体及平板显示行业，具体公开了一种双工位usc清洗机。

背景技术：

在液晶显示屏生产过程中，为了提高产品的良率，需要对玻璃基板进行清洗，usc超声波清洗机就是专门对玻璃基板进行清洗的设备。待清洗的玻璃尺寸是决定清洗机尺寸大小的关键，根据要清洗玻璃的尺寸可以设计台板的大小并安排整形pin、挡玻璃块以及各种传感器的位置，局限于此，一台清洗机往往都只能清洗一种尺寸的整块玻璃。随着液晶显示行业的发展，待清洗的玻璃一分为二，干式清洗工艺需要同时清洗两块玻璃，由于普通的usc清洗机无法准确放置玻璃并将玻璃整形定位，普通的清洗机便无法胜任这样的工作，双工位usc清洗机可以解决这一难点。

技术实现要素：

本发明涉及一种双工位usc清洗机，将清洗的玻璃一分为二，一次放置两块玻璃在台板上，实现对两块玻璃同时进行整形定位，需要双工位同时升降，一次需要清洗两块玻璃。

本发明采用的技术方案是：本发明涉及一种双工位usc清洗机，包括清洗头部分、台板部分、双工位升降支架部分和内组装机架部分，清洗头部分、台板部分、双工位升降支架部分均装配于内组装机架部分上；台板部分位置固定于清洗头部分中的清洗头的下方，并处于双工位升降支架的上方，其中所述清洗头部分中的清洗头可以沿台板部分的表面方向平行移动以对玻璃进行清洗，台板部分中的台板主体开有升降pin孔，双工位升降支架中的升降pin通过升降pin孔沿竖直方向往复运动。

在本发明中：所述的清洗头部分包括清洗头、清洗头支架、型材架、弯管、弯管固定架、清洗头用电机和减速机，所述的清洗头通过清洗头支架以及型材架连接于内组装机架的导轨上，清洗头行走的动力由电机提供，动力传动通过减速机与滚轮齿条机构进行，从而驱动清洗头沿导轨方向移动；所述的弯管连接气源，为清洗头的清洗功能提供气压，弯管固定架用来固定弯管；其中清洗头位于台板部分的上方，起到连接与固定作用的清洗头支架与型材架处于内组装部分的两侧。

在本发明中：所述台板部分是与玻璃直接接触的部分，用于承载并吸附玻璃，台板部分的台板主体上有吸附槽、阴刻槽和玻璃挡块槽，所述的吸附槽用于提供吸附玻璃的吸力；所述的阴刻槽，减少了玻璃与台板的接触面积；所述的玻璃挡块槽，用于安放玻璃挡块，从而给玻璃限位；其中所述的台板主体上设有若干通孔，所述的通孔数量与所述双工位升降支架部分上的各类传感器的数量相同。

在本发明中：所述双工位升降支架部分包括两个左右对称设置的相同结构的半板升降架部分，所述每个半板升降架部分的下方均设有气缸，两气缸可分别单独控制以实现半块升降架部分的单独的上升与下降动作，由于两气缸可以单独控制，所以可以进行半块升降架部分单独的上升与下降，也可以进行整个双工位升降支架部分的同步上升与下降动作；所述半板升降架部分的升降架体上安装有破片传感器、光纤传感器与静电传感器；其中破片传感器用于检测玻璃是否破碎或重叠，保障安全；光纤传感器用于检测玻璃的有无，从而控制升降动作；静电传感器用于检测静电量的大小，保障静电量处于合理范围；所述半板升降架部分的升降架体上还加装有限位挡块与缓冲器，在升降架体上升的过程中起到限位与缓冲的作用，保证其不与台板部分发生直接碰撞；升降架体上设有离子棒，并处于台板部分之下，用于减少静电量；其中各传感器的位置与台板部分上台板主体的开孔位置相对应，对于不同的加工需求，台板主体上开孔的位置与传感器位置均可调节；所述的与破片检测传感器相邻的一侧设有整形pin，所述的整形pin固定在整形气缸上，所述的整形气缸的安装位置同样与台板主体上相应的开孔位置对应。

在本发明中：所述内组装机架部分包括焊接架，所述的焊接架的两侧设有导轨，所述的焊接架上设有导向轴和支撑轴，所述的导向轴固定于焊接架上，在双工位升降支架部分上升与下降的过程中起到导向作用；所述的支撑轴装配于焊接架上，上端与台板部分相连，用于支撑台板部分；所述焊接架的一侧设有电气柜，所述的内部有电气板等电气设备，用于整台清洗机的电气控制。

在本发明中：所述双工位升降支架部分中的整形pin使用不同的直径，大直径整形pin安装于升降架体外侧，小直径整形pin安装于升降架体内侧，可以有效的节约空间。

在本发明中：所述的台板部分上的台板主体的四角上均设有玻璃挡块，所述台板主体的每个角均设有2个对应的玻璃挡块，所述的玻璃挡块安放于台板部分上的玻璃挡块槽中，与台板部分连接，安装后高度高于台板主体平面，可以定位并固定约束玻璃。

在本发明中：所述破片传感器通过破片传感器安装轴与升降架体连接,分别分布在两半板升降架部分的四个角落位置，每块半板升降架部分安装四个破片传感器，可以对玻璃完整程度与位置进行检测。

通过上述技术方案，本发明的有益效果为：本发明结构简单、设计合理，能够实现双工位清洗机中半板升降架部分的分别升降与同时升降，能够完成两块玻璃的放置、定位和整形，通过破片传感器可以检测玻璃是否有破损，是否放置的两块玻璃有重叠的部分，以保证生产效率与生产安全。

【附图说明】

此处所说明的附图是用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，但并不构成对本发明的不当限定，在附图中：

图1是本发明结构示意图；

图2是本发明中清洗头部分的示意图；

图3是本发明中内组装机架部分的示意图；

图4是本发明中双工位升降支架部分的示意图；

图5是本发明中半板升降架部分的示意图；

图6是本发明中台板部分的示意图；

图7是本发明的俯视示意图。

图中：其中，1、清洗头部分；2、台板部分；3、双工位升降支架部分；4、内组装机架部分；5、整形pin；5-1、大直径整形pin；5-2、小直径整形pin；6、玻璃挡块；7、破片检测传感器；8、气缸；9、清洗头用电机；10、导轨；11、整形气缸；12、减速机；13、升降pin；14、破片检测传感器安装轴；15、光纤传感器；16、静电检测传感器；17、限位挡块；18、缓冲器；19、离子棒；20、吸附槽；21、阴刻槽；22、玻璃挡块槽；23、升降pin孔；24、焊接架；25、导向轴；26、支撑轴；27、电气柜；28、滚轮齿条机构；29、清洗头；30、清洗头支架；31、型材架；32、弯管；33、弯管固定架。

【具体实施方式】

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本发明，其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本发明，但并不作为对本发明的限定。

如图1-7所示，一种双工位usc清洗机，包括清洗头部分1、台板部分2、双工位升降支架部分3和内组装机架部分4，所述的清洗头部分1、台板部分2、双工位升降支架部分3均装配于内组装机架部分4上；台板部分2位置固定于清洗头部分1中的清洗头29的下方，并处于双工位升降支架部分3的上方，其中所述清洗头部分1中的清洗头29可以沿台板部分2的表面方向平行移动以对玻璃进行清洗，台板部分2中的台板主体开有升降pin孔23，双工位升降支架部分3中的升降pin13通过升降pin孔23沿竖直方向往复运动。

如图2所示，所述的清洗头部分1包括清洗头29、清洗头支架30、型材架31、弯管32、弯管固定架33、清洗头用电机9和减速机12，所述的清洗头29通过清洗头支架30以及型材架31连接于内组装机架部分4的导轨10上，清洗头29行走的动力由清洗头用电机9提供，动力传动通过减速机12与滚轮齿条机构28进行,所述的滚轮齿条机构28中滚轮部分与减速机12相连，齿条部分安装于焊接架24上，滚轮齿条机构28用于驱动清洗头29移动，从而驱动清洗头29沿导轨10方向移动；所述的弯管32连接气源，为清洗头29的清洗功能提供气压，弯管固定架33用来固定弯管32；其中清洗头29位于台板部分2的上方，起到连接与固定作用的清洗头支架30与型材架31处于内组装机架部分4的两侧。

如图6所示，所述台板部分2是与玻璃直接接触的部分，用于承载并吸附玻璃，台板部分2的台板主体上有吸附槽20、阴刻槽21和玻璃挡块槽22，所述的吸附槽20用于提供吸附玻璃的吸力；所述的阴刻槽21，减少了玻璃与台板主体的接触面积；所述的玻璃挡块槽22，用于安放玻璃挡块6，从而给玻璃限位；其中所述的台板主体上设有若干通孔，所述的通孔数量与所述双工位升降支架部分3上的各类传感器的数量相同。所述的台板部分2上的台板主体的四角上均设有玻璃挡块6，所述台板主体的每个角均设有2个对应的玻璃挡块6，所述的玻璃挡块6安放于台板部分2上的玻璃挡块槽22中，与台板部分2连接，安装后高度高于台板主体平面，可以定位并固定约束玻璃。

如图4-5所示，所述双工位升降支架部分3包括两个左右对称设置的相同结构的半板升降架部分，所述每个半板升降架部分的下方均设有气缸8，两气缸8可分别单独控制以实现半块升降架部分的单独的上升与下降动作，由于两气缸8可以单独控制，所以可以进行半块升降架部分单独的上升与下降，也可以进行整个双工位升降支架部分2的同步上升与下降动作；所述半板升降架部分的升降架体上安装有破片传感器7、光纤传感器15与静电传感器16；其中破片传感器7用于检测玻璃是否破碎或重叠，保障安全；光纤传感器15用于检测玻璃的有无，从而控制升降动作；静电传感器16用于检测静电量的大小，保障静电量处于合理范围；所述半板升降架部分的升降架体上还加装有限位挡块17与缓冲器18，在升降架体上升的过程中起到限位与缓冲的作用，保证其不与台板部分2发生直接碰撞；升降架体上设有离子棒19，并处于台板部分2之下，用于减少静电量；其中各传感器的位置与台板部分2上台板主体的开孔位置相对应，对于不同的加工需求，台板主体上开孔的位置与传感器位置均可调节；所述的与破片检测传感器7相邻的一侧设有整形pin5，所述的整形pin5固定在整形气缸11上，所述的整形气缸11的安装位置同样与台板主体上相应的开孔位置对应。所述破片传感器7通过破片传感器安装轴14与升降架体连接,分别分布在两半板升降架部分的四个角落位置，每块半板升降架部分安装四个破片传感器7，可以对玻璃完整程度与位置进行检测。如图7所示，所述双工位升降支架部分2中的整形pin5使用不同的直径，大直径整形pin5-1安装于升降架体外侧，小直径整形pin5-2安装于升降架体内侧，可以有效的节约空间。

如图3所示，所述内组装机架部分4包括焊接架24，所述的焊接架24的两侧设有导轨10，所述的焊接架24上设有导向轴25和支撑轴26，所述的导向轴25固定于焊接架24上，在双工位升降支架部分3上升与下降的过程中起到导向作用；所述的支撑轴26装配于焊接架24上，上端与台板部分2相连，用于支撑台板部分2；所述焊接架24的一侧设有电气柜27，所述的内部有电气板等电气设备，用于整台清洗机的电气控制。

以上所述仅是本发明的较佳实施方式，故凡依本发明专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本发明专利申请范围内。