SEM测试能谱eds | 您所在的位置:网站首页 › sem能看出什么 › SEM测试能谱eds |
在做扫描电子显微镜(SEM)测试时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学对能谱EDS不太了解,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;
能谱EDS的采样深度大约为1 μm,可对试样微区内Be~U范围内的元素进行分析。根据扫描方式的不同可分为点扫、线扫和面扫。点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析,两者区别是扫描能谱的面积大小不一。点扫可以给出扫描元素的相对含量,测试准确性较高,常用于显微结构的成分分析。面扫是对样品某一区域的元素分布进行观察。
图1对样品的某一位置进行能谱点扫得到的元素图
表1样品的相对元素含量 Element Weight % Atomic % Error % C K 48.96 54.94 5.15 N K 27.91 26.85 19.29 O K 21.35 17.99 12.55 AgL 1.78 0.22 20.03
EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上,进行定性或者定量的分析。如图1所示是能谱点扫给出的峰型图,每一种元素在图中会出现一种峰,由此可以看出样品中所含有的元素,同时,也会相对应的给出如表1所示的元素相对含量表,表中数据展示了相对质量分数和相对原子分数及误差,误差越大表示元素的相对含量可信度越低。
图2对样品进行线扫的结果图
EDS 线扫描分析是电子束沿一条线对样品进行扫描,能得到元素含量变化的线分布曲线。结合样品形貌像对照分析,能直观获得元素在不同区域的分布情况。图2可以看出,元素含量的差异与形貌结合可以分析样品结构上的差异。
图3对样品进行面扫的结果图
EDS 面扫描分析是电子束在样品表面扫描,试样表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表现出来,常用来做定性分析。亮度越高,元素含量越高,结合形貌像常用于成分偏聚、相分布的研究中。从图1-11中可以看出元素分布的差异,结合形貌图对样品进行定性分析。
本文所有内容文字、图片和音视频资料,版权均属科学指南针网站所有,任何媒体、网站或个人未经本网协议授权不得以链接、转贴、截图等任何方式转载。 更多科研作图、软件使用、表征分析、SCI 写作等干货知识可以扫码关注下哦~ |
CopyRight 2018-2019 实验室设备网 版权所有 |