半导体行业（八十六）

当镀膜变得越来越厚时，晶圆的颜色就会按照一个特定顺序变化，并且不断重复。我们把每一个颜色的重复称为一个顺序（order)。因此为了准确判定膜厚，了解颜色变化的规则是十分必要的。颜色规则表的主要用途是为工艺控制。

每一个氧化和氮化硅工艺的设立都是为了产生一定的厚度。自然地在批与批间，厚度将会有差异。操作人员需要对晶圆的颜色有高度的敏感性。当晶圆的颜色发生变化时，需要迅速核对表格，判断是否镀膜厚度已经超出了规范。一个工艺做的如此之差，以至于超出整个顺序是很少见的。通过颜色表格对膜厚进行精确的判定是受对颜色的准确理解所限制的（例如，什么是确切的橘红色的概念？），一般情况下，一个典型的表格可精确到±300A。

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条纹法

当颜色的规则还没被发现的时候，条纹一计算技术被应用于膜厚的测量。当测试品圆的边缘蘸上氢氟酸几秒钟后，酸会迅速以一定的角度腐蚀氧化层。从而使氧化层暴露出来而便于测试观察（参见下图）。当晶圆在白光下进行观察时，晶圆表面与镀膜顶部之间形成了彩色条纹。此时厚度的判定由膜厚判定的第一规则得出。在这里看到重复的颜色序列是十分容易的，如果出现了三个蓝红条纹，那么厚度相当于顔色一厚度表中第三规则中的表面颜色相对应的厚度。

另外一个更精确的条纹一计算法是适用于单色光人射的。单色光只含有一种颜色（一种波长）的光，而白色光则是一种复合光（含有多种波长的光)。我们这里的样品是为了应用条纹一计算法而以相同的方法制作准备的。然而，在显微镜的目镜中，当以单色光人射时，条纹是交替出现的，甚至以一个固定的垂直距离相隔而出现黑白相间的条纹（参见下图）。薄膜的厚度通过所得条纹的个数再乘以一个修正系数得到，修正系数由所用的单色光的波长决定。对于钠光而言，其波长为5890Å。

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