WaferSense® Auto Gapping System™ (AGS)

通过测量三点间隙来实现设备的理想安装。

准确实现所需的间隙，无论您需要设置完全平行的间隙还是稍微倾斜的间隙，以实现最佳一致性。三个 AGS 传感器分别以数字和图形形式独立报告腔体在工艺压力下的间隙，让您准确获得所需的间隙。

通过客观且可重复的间隙调整来提高工具间工艺的一致性。

通过客观（数值）测量来消除调整设备时的人为变数，让您高枕无忧。通过数字和图形显示一次又一次地做出正确的调整。任何人都可以在工具之间设置相同的间隙，从而提高工具之间的流程一致性。

通过实时反馈减少设备校准时间。

使用 AGS 提供的 CyberSpectrum™ 软件的图形用户界面实时查看调整效果。可以从真空工艺室内进行数字和图形测量，并在设备设置处于公差范围内时提供清晰的指示。

通过自动处理加快设置、维护和故障排除。

提供 200 毫米和 300 毫米晶圆尺寸。