CATS Jobdeck 操作

Jobdeck Smashing 这一独特选件兼具了 CATS 的行业标准分解与卓越的 jobdeck 图形化。无论是生成光罩检测数据，还是为当今的高端曝光工具创建优化的电子束数据，Jobdeck Smashing 都可让用户按照指定的分解限制范围，将 jobdeck 中的所有图形数据分解成单个图形文件。

虽然不同的电子束格式允许通过 jobdeck 组合多个图形文件，但 检测工具 通常要求检测数据库以单个文件的形式提供。CATS 可让用户将 CATS 能够读取的任何格式（包括 jobdeck）转换成任何支持的可选检测格式。

该功能的另一关键用途在于，当今很多先进的电子束曝光工具都倾向于同时查看大段数据，以便尽可能地缩短阶段传播时间和提高吞吐量。从设计和早期数据准备的角度来看，虽然为工具提供多个更易于管理的小文件是更简单的做法，但是某些工具在处理可通过 CATS Jobdeck Smashing 生成的单个大型图形文件时更有效率。

另一种强大的组合就是 CATS Jobdeck Smashing 与 CATS  MRC；制造规则核查。MRC 可让用户对 CATS 能够读取的任何文件（包括 jobdeck）执行高速宽度和间距验证。设计师和光罩制造商终于能够对分解后的数据和 jobdeck 运行类似 DRC 的验证了。毕竟，DRC 只在设计阶段才有效。这种组合无法验证两种标准光罩数据准备流程通用的操作（以及在 jobdeck 中可能进行的很多潜在图形操作）尚未违反设计规则或造成光罩曝光或检测的非优化情况。